流量控制系统有四个主要特点:
1.流量计和流量调节装置中不包含影响调节过程快速性的大滞后效应和大惯性特性,所以系统响应快,通频带宽。
2.系统中普遍存在外扰,如负载流量的波动和泵的脉动造成的压力脉动等。
3.为增加系统的稳定程度和抗外扰能力,在流量控制系统中不采用微分控制规律,多采用以积分为主的pi调节,并在保证调节精度和快速性的前提下尽可能地缩小系统的通频带宽(见pid调节器)。
4.同一管道系统的各个流量控制系统之间往往存在相互影响,因而会使整个流量控制系统的性能变坏。
为了避免这种情况,有三种解决办法:
1.把同一管道系统的几个流量控制系统作为一个整体,按多变量系统的设计原则来确定整个系统的调节规律,以保证系统的稳定性和其他控制性能;
2.采用解耦方法(见解耦控制问题)来消除相互影响;
3.使各个流量控制系统具有不同的通频带,以减小各个流量控制系统之间的相互影响。
气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围,mfc和mfm可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、cvd、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
flowmethod气体质量流量控制器(mass flow controller 缩写为mfc)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。
flc-780系列产品主要用在zuida耐压1mpa,差压范围在0.1-1mpa内的客户。此产品为全金属密封,若使用场合为强腐蚀性的,则推荐此系列。
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fl-4000系列产品主要用配合fl系列的所有流量控制器来使用,可集成二路以上显示及控制,并且配有上微机软件,可显示瞬时,累计及实时曲线。
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